■ באַזייַטיקונג די אָרגאַניק קאַנטאַמאַנאַנץ, ימפּרוווינג מאַטעריאַל אַדכיזשאַן און פּראַמאָוטינג פליסיק לויפן
■ אַפּפּליקאַטיאָן סינעריאָוז: ייבערפלאַך צוגרייטונג דורך ייבערפלאַך אַקטאַוויישאַן און קאַנטאַמאַניישאַן באַזייַטיקונג איידער קליי דיספּענסינג & קאָוטינג פּראָצעס
■ אַפּפּליקאַטיאָן פּראָדוקטן: עלעקטראָניש מיטל פֿאַרזאַמלונג, געדרוקט קרייַז ברעט (פּקב) מאַנופאַקטורינג און מעדיציניש מיטל מאַנופאַקטורינג.
■ ספּרייינג נעזל גרייס: φ2מם ~ φ70מם בנימצא
■ פּראַסעסינג הייך: 5 ~ 15 מם
■ פּלאַזמאַ גענעראַטאָר מאַכט: 200 וו ~ 800 וו בנימצא
■ ארבעטן גאַז: נ 2, אַרגאָן, זויערשטאָף, הידראָגען, אָדער אַ געמיש פון די גאַסאַז
■ גאַז קאַנסאַמשאַן: 50 ל / מין
■ פּיסי קאָנטראָל מיט אָפּציע צו פאַרבינדן פאַבריק MES סיסטעם
■ סע אנגעצייכנט
■ פריי מוסטער טעסטינג פּראָגראַם בנימצא
■ פּלאַזמע רייניקונג פּרינציפּ
■ פארוואס קלייַבן פּלאַזמע רייניקונג
■ רייניקן אפילו אין די קלענסטער פּלאַצן און גאַפּס
■ ריין און זיכער מקור
■ קלינז אַלע קאָמפּאָנענט סערפאַסיז אין איין שריט, אפילו די ינלענדיש פון פּוסט קאַמפּאָונאַנץ
■ קיין שעדיקן צו סאַלוואַנט-שפּירעוודיק סערפאַסיז דורך כעמישער רייניקונג אגענטן
■ באַזייַטיקונג פון מאָלעקולאַרלי פייַן רעזאַדוז
■ קיין טערמאַל דרוק
■ פּאַסיק פֿאַר גלייך ווייַטער פּראַסעסינג (וואָס איז זייער געוואלט)
■ קיין סטאָרידזש און באַזייַטיקונג פון כאַזערדאַס, פּאַלוטינג און שעדלעך רייניקונג אגענטן
■ הויך קוואַליטעט און הויך-גיכקייַט רייניקונג
■ זייער נידעריק פליסנדיק פּרייַז